高功率脉冲磁控溅射Ti-B-N涂层沉积温度对其结构及性能的影响

doi:10.11933/CSE2026054

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中国表面工程 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (2) : 475-484. DOI: 10.11933/CSE2026054

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高功率脉冲磁控溅射Ti-B-N涂层沉积温度对其结构及性能的影响

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Influence of Deposition Temperature on the Microstructure and Properties of High Power Impulse Magnetron Sputtered Ti-B-N Coatings

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-05-30	2025-06-18	2025-07-23	2026-04-23
发布日期
2026-05-06

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