基于Cu<sub>3</sub>Se<sub>2</sub>固体电解质的离子束沉积金属薄膜及工艺优化应用

doi:10.11933/CSE2026036

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中国表面工程 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (1) : 472-481. DOI: 10.11933/CSE2026036

表面强化及表面改性

基于Cu₃Se₂固体电解质的离子束沉积金属薄膜及工艺优化应用

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Application Research on Ion Beam Deposition of Metal Films Based on Cu₃Se₂ Solid Electrolytes and Process Optimization

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-09-16	2025-10-27	2025-10-30	2026-02-23
发布日期
2026-04-10

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