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(HfMoNbZr)1-xNx薄膜晶体结构和力学性能的氮含量调控
万剑桥, 施杰, 胡恒宁, 邹嘉力, 王宇, 陈乙, 唐正强, 杜昊
中国表面工程 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (1) : 459-471.
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(HfMoNbZr)1-xNx薄膜晶体结构和力学性能的氮含量调控
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Tuning Crystallographic Structure and Properties of (HfMoNbZr)1-xNx Films by Nitrogen Concentration
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