脉冲占空比对dcMS/HiPIMS复合沉积TiAlTaN涂层力学及耐磨性能的影响

doi:10.11933/CSE2026009

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中国表面工程 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (1) : 84-95. DOI: 10.11933/CSE2026009

表面工程与摩擦学

脉冲占空比对dcMS/HiPIMS复合沉积TiAlTaN涂层力学及耐磨性能的影响

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Effect of Pulse Duty Cycle on the Mechanical and Tribological Properties of TiAlTaN Coatings Deposited by Hybird dcMS/HiPIMS Sputtering

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-08-12	2025-10-31	2025-11-12	2026-02-23
发布日期
2026-04-10

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