氮气流率对Ta-Hf-W-N多主元合金氮化物薄膜力学性能和摩擦磨损性能的影响

doi:10.11933/CSE2026007

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中国表面工程 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (1) : 61-73. DOI: 10.11933/CSE2026007

表面工程与摩擦学

氮气流率对Ta-Hf-W-N多主元合金氮化物薄膜力学性能和摩擦磨损性能的影响

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Effect of Nitrogen Gas Flow Rate on the Mechanical and Tribological Properties of Ta-Hf-W-N Multi-principal Element Alloy Nitride Films

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-08-16	2025-10-29	2025-08-18	2026-02-23
发布日期
2026-04-10

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