|
| 摘要: |
| 采用磁过滤弯管滤除阴极弧等离子体中的大颗粒，研究了偏压和导向磁场对磁过滤弯管传输效率的影响。建立了磁过滤弯管中正交电场和磁场下的等离子体扩散模型，分析各个参数对等离子体传输的作用规律。采用磁过滤的阴极弧等离子体源制备了NbN膜，研究了沉积温度对膜层特性的影响。 |
| 关键词: 阴极弧等离子体 扩散 薄膜 磁过滤 |
| DOI： |
| 分类号:O462.5 O485 |
| 基金项目:"十五""863"项目(2001AA338020-3);北京自然科学基金(1002005);北京科技新星计划(952870400) |
|
| Filtered Cathodic Arc Plasma Source and Thin Film Deposition |
|
ZHANG Tao HOU Jun-da LIU Zhi-guo ZHANG Yi-cong
|
| Abstract: |
|
| Key words: cathodic arc plasma,diffusion,hard film |
