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摘要: |
试验了利用气相反应法在Fe-Cr-Al电热合金表面原位生成绝缘膜的可能性。获得了主要由a-Al2O3相组成的绝缘膜层,膜的生长符合抛物线规律,抛物线速率常数随反应氛中氧分压的增高而增大,Al2O3绝缘膜的微观形貌也与氧分压的大小有关。另外对绝缘膜的击穿性能进行了测试。 |
关键词: 电热合金 绝缘膜 薄膜生长 动力学 氧化铝 |
DOI: |
分类号:TM924.03 |
基金项目:广东省自然科学基金资助项目 |
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Investigation on Growth Kinetics and Morphology of In-Situ Insulating Film on Fe-Cr-Al Electrical Heating Alloy |
HU Ping MENG Jilong HUANG Wenbo
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Abstract: |
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Key words: electrical heating alloy,insulating film,Al2O3 |