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| 摘要: |
| 研究了不锈钢PVDAg－Cu／Ti双层薄膜的力学性能，包括薄膜结合强度、弹性模量、复合硬度及残余应力。结果表明，该双层膜膜基结合良好；用4点弯曲法测得其弹性模量为63．4GPa；薄膜复合硬度表现出导常的负荷依存性；用X射线法测得双层膜膜力应力为张应力，大小为160MPa。 |
| 关键词: 气相沉积 双层膜 结合强度 力学性能 不锈钢 PVD |
| DOI： |
| 分类号:TG174.444 |
| 基金项目:中科院化学物理研究所固体润滑国家重点实验室资助项目(9811) |
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| Study on Mechanical Properties of PVD Ag-Cu/Ti Bilayer Film on Stainless Steel |
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HUANG Yuanlin SHI Zongli LI Chongyan
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| Abstract: |
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| Key words: PVD,bilayer film,adhesion,mechanical properties |
