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Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入
王松雁,田修波,汤宝寅,陈轶斌,王小峰,魏强,曾照明
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摘要
:
本文利用电感耦合的射频激励产生的氮等离子体对Ti6A14V进行等离子体浸没离子注入.处理结果发现,随射频功率及氮离子注入剂量增加,Ti6A4V表面显微硬度增加;注入能量及剂量对材料摩擦磨损性能有显著影响,而且注入能量不同,最佳注入剂量也相应变化;射频激励下等离子体浸没离子注入具有注入和氮化双重作用.
关键词
:
射频激励的等离子体,等离子体浸没离子注入,Ti6A14V
DOI:
分类号
:
TG13
基金项目:
Abstract
:
Key words
: