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基体随炉氮化提高PCVD TiN结合强度
陈华,孙海林,胡奈赛,何家文
Author Name
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摘要
:
本文用对滚实验方法,评定了基体与膜的动态结合强度。镀膜滚轮经过5×106周次循环之后,膜的剥落面积小于5%时的最大接触应力定义为膜基界面疲劳强度σc。钢基体经过喷砂处理后,PCVDTiN膜的结合强度有很大提高。如果工件的光洁度要求较高不能喷砂处理时,表面预氮化能够达到与喷砂处理同样的结合力。
关键词
:
结合强度,TiN,氮化
DOI:
分类号
:
TB43
基金项目:
Abstract
:
Key words
: