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脉冲PCVD沉积TiN膜的若干特点
张海涛,杨兴宽,徐冰仲
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摘要
:
国内采用脉冲电源进行PCVD沉积TiN膜,尚未见报道。本文主要介绍脉冲PCVD沉积TiN膜的若干特点,并与直流PCVD作了比较。试验表明脉冲PCVD能降低TiN的沉积温度.细化晶粒.减小膜层中的氯含量,改善成膜质量,与直流PCVD相比.能进一步提高工模具寿命。
关键词
:
脉冲电源,PCVD,TiN,沉积
DOI:
分类号
:
TB43
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Abstract
:
Key words
: