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PEMSIP法沉积的TiN涂层对刀具切削性能的影响
王玉魁,王平,韩会民,王传恩,高路斯

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基片负偏压增加，使等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层的相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展；由Ti2N和TiN两相组成的涂层硬度最高，可达Hk2460。切削力测定表明，由Ti2N和TiN两相组成的刀具涂层使切削力略有下降。涂层能明显提高刀具耐用度。

关键词: 等离子体增强,磁控溅射,TiN涂层,切削力

DOI：

分类号:TG71

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