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论文摘要

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摘要:

用反应溅射方法在不锈钢表面喷涂一层ZrN薄膜,在退火温度下热处理至点阵平衡状态,然后测量其残余应力。在冷却至室温后残余应力全部由冷缩程度的不同产生,用Cu Kα辐射测量不同晶面上的应力,发现应力与sin~2ψ之间遵循无偏离的线性关系。通过实验结果,可确定其X射线弹性常数1/2S_2。A_(XC)值为0.83,说明材料是各向异性的。

关键词: 物理气相沉积 ZrN薄膜 X射线弹性常数应力分布表面处理

DOI：

分类号:TG17

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