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论文摘要
米绪军
Author Name
Affiliation
摘要
:
用氮化钛反应磁控溅射方法处理SIS-2140硬化工具钢表面;。研究了基体沉积温度对界面化学成分、氮化钛膜和基体的硬度及其附着力的影响。化学成分的分析采用了俄歇电子能谱、辉光放电光谱(GDOS)和电子探针显微分析方法;附着力和硬度的测量
关键词
:
氮化钛反应磁控溅射法 工具钢 表面质量 辉光放电光谱
DOI：
分类号
:
TG142.45
基金项目:
Abstract
:
Key words
:
