引用本文: | 王敏,蒙继龙,陈明光.ITO薄膜的光学性能研究[J].中国表面工程,2003,(5):27~29,32 |
| .Optical Properties of ITO Films[J].China Surface Engineering,2003,(5):27~29,32 |
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摘要: |
采用溶胶-凝胶法制备了ITO薄膜,并对溶胶-凝胶法中Sn掺杂量、后续热处理温度以及热处理时间3种工艺参数对ITO薄膜可见光区透射率的影响进行了分析和研究。研究结果表明:w(Sn)掺杂量小于10%时,ITO薄膜的透射率下降缓慢,掺杂量大于10%后,薄膜的透射率急剧下降;随着热处理时间的延长,ITO薄膜的透射率直线型下降;热处理温度与ITO薄膜透射率呈曲线关系,热处理温度为500℃时,ITO薄膜的透射率出现最大值。 |
关键词: ITO薄膜 溶胶-凝胶法 光学性能 透射率 |
DOI: |
分类号:TG156 |
基金项目: |
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Optical Properties of ITO Films |
WANG Min1 MENG Ji-long2 CHEN Ming-guang3
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Abstract: |
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Key words: ITO films,sol-gel method,optical properties,transmittance |