引用本文:王敏,蒙继龙,陈明光.ITO薄膜的光学性能研究[J].中国表面工程,2003,(5):27~29,32
.Optical Properties of ITO Films[J].China Surface Engineering,2003,(5):27~29,32
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ITO薄膜的光学性能研究
王敏,蒙继龙,陈明光
作者单位
摘要:
采用溶胶-凝胶法制备了ITO薄膜，并对溶胶-凝胶法中Sn掺杂量、后续热处理温度以及热处理时间3种工艺参数对ITO薄膜可见光区透射率的影响进行了分析和研究。研究结果表明：w(Sn)掺杂量小于10％时，ITO薄膜的透射率下降缓慢，掺杂量大于10％后，薄膜的透射率急剧下降；随着热处理时间的延长，ITO薄膜的透射率直线型下降；热处理温度与ITO薄膜透射率呈曲线关系，热处理温度为500℃时，ITO薄膜的透射率出现最大值。
关键词:  ITO薄膜 溶胶-凝胶法 光学性能 透射率
DOI：
分类号:TG156
基金项目:
Optical Properties of ITO Films
WANG Min1  MENG Ji-long2  CHEN Ming-guang3
Abstract:
Key words:  ITO films,sol-gel method,optical properties,transmittance
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