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利用电弧离子镀法涂敷硬质薄膜
玉坦浩,中山明,蒋修治
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摘要
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一、前言在寻求刀具、机械零件等的高功能化过程中,正在积极地进行着耐磨硬质薄膜涂层来提高性能的研究开发工作。切削刀具的TiN涂层是在工业上已达到实用化的代表实例。近年来,涂层种类已经发展到TiCN、ZrN、HfN、TiAlN、CrN、Al_2O_3和CBN,硬质薄膜涂层的工业应
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