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超硬薄膜的制备——稻川幸之助,《金属表面技术》,1988.NO.2,P2-11(日文)本文阐述PVD 法、CVD 法和动态混合法制备硬质薄膜以及金刚石和立方氮化硼成膜的当前研究动态与发展。活性反应蒸镀、离子镀和溅射能够以高的沉积速率
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