引用本文:商宏飞.TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展[J].中国表面工程,2014,27(6):141
SHANG Hongfei.Mechanical Properties and Thermal Stability of TiAlN/Ta Multilayer Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition Obtains New Progress[J].China Surface Engineering,2014,27(6):141
【打印本页】   【HTML】   【下载PDF全文】   【查看/发表评论】  【EndNote】   【RefMan】   【BibTex】
←前一篇|后一篇→ 过刊浏览    高级检索
本文已被：浏览 3402次   下载 2397次 本文二维码信息
码上扫一扫！
分享到： 微信 更多
字体:加大+|默认|缩小-
TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展
商宏飞1
清华大学摩擦学国家重点实验室
摘要:
关键词:  
DOI：10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.018
分类号:
基金项目:
Mechanical Properties and Thermal Stability of TiAlN/Ta Multilayer Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition Obtains New Progress
SHANG Hongfei
Abstract:
Key words:  
手机扫一扫看