引用本文:代明江,林松盛,侯惠君,朱霞高,李洪武,况 敏.用离子源技术制备类金刚石膜研究[J].中国表面工程,2005,(5):16~19
.A Study on Diamond-Like Carbon Film Synthesized by Ion Source Technique[J].China Surface Engineering,2005,(5):16~19
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用离子源技术制备类金刚石膜研究
代明江1，林松盛1,2，侯惠君1，朱霞高1，李洪武1，况 敏1
作者单位
摘要:
采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,大面积地在不同基体上制备了光滑、均匀的类金刚石(DLC)膜层,用SEM、Raman、XPS、硬度计、划痕仪等手段分析和研究了膜层的形貌、结构及部分性能。结果表明:钛的掺入,有利于减少内应力、提高膜/基结合力,膜层的综合性能好,更适合于精密器件的表面改性。
关键词:  类金刚石膜  无灯丝离子源  非平衡磁控溅射  大面积
DOI：
分类号:
基金项目:
A Study on Diamond-Like Carbon Film Synthesized by Ion Source Technique
DAI Ming-jiang1, LIN Song-sheng1,2, HOU hui-jun1, ZHU Xia-gao1, LI Hong-wu1, KUANG Min1
Abstract:
The large area diamond-like carbon(DLC)film was synthesized by ion source technique with magnetron sputtering of Ti metal,the film was analyzed by SEM,Raman,XPS,hardness and scratching testers.The results showed that Ti-doped DLC has better quality comparing with pure DLC film,it displays a higher bonding strength with substrate and can be made thicker.
Key words:  DLC  magnetron sputtering  ion source
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