引用本文:赵青,童洪辉,莫志涛,唐德礼,耿漫,郑永真.温度对离子注入Ti6A14V表面改性影响[J].中国表面工程,2001,(4):36~39
.Influence of Temperature on Properties of Nitrogen Ion Implantation of Ti6Al4V Alloy[J].China Surface Engineering,2001,(4):36~39
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温度对离子注入Ti6A14V表面改性影响
赵青,童洪辉,莫志涛,唐德礼,耿漫,郑永真
作者单位
摘要:
对Ti6Al4V 合金进行温度范围从100 ℃到600 ℃,注入剂量为:4×1017ions.cm-2氮离子等离子体源离子注入(N-PSII)。用俄歇电子能谱仪(AES)对注入样品进行元素深度分布剖面分析。用显微硬度及针盘磨损试验机测试表面改性的效果。利用X 射线衍射(XRD)分析表面改性层晶相的变化。用光学显微镜观察磨痕宽度。分析发现,当温度从 100 ℃升到600 ℃时,注入层厚度明显增加。其中,高温注入时获得较高的表面硬度和较好抗磨损性。XRD分析发现,随温度升高注入层表面形成TiN和Ti2N析出相。
关键词:  离子注入 表面改性 钛合金 温度
DOI：
分类号:TG174.444
基金项目:国防科技重点实验室基金(98JS50.3.3 HZ5801)
Influence of Temperature on Properties of Nitrogen Ion Implantation of Ti6Al4V Alloy
ZHAI Qing TONG Honghui MO Zhitao TANG Deli GENG Man ZHENG Yongzhen
Abstract:
Key words:  Ti6Al4V alloy,ion-implantation,surface modifcation
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