引用本文:徐滨士,欧忠文.纳米表面工程基本问题及其进展[J].中国表面工程,2001,(3):6~12
.Fundamental Lssues and New Progress of Nano-surface Engineering[J].China Surface Engineering,2001,(3):6~12
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纳米表面工程基本问题及其进展
徐滨士,欧忠文
作者单位
摘要:
阐述了纳米表面工程的产生背景、内涵、特点和科学问题,详细阐述了纳米表面工程在纳米超薄膜的制备、超光滑表面的制备、表面超微细图形加工、纳米结构涂层的组装、制备纳米复合功能涂层方面的研究进展。
关键词:  纳米表面工程 纳米材料 纳米超薄膜 超光滑表面 超微细图形 纳米结构涂层
DOI:
分类号:TB383
基金项目:国家重点基础研究专项经费(G19990650); 国家重点科技创新项目
Fundamental Lssues and New Progress of Nano-surface Engineering
Xu Binshi Ou Zhongwen Ma Shining
Abstract:
The emerging background, definition, characteristics and scientific issues of nano-surface engineering are stated first. This paper also summarizes the research progress of nano-surface-engineering, libe the preparations of nanocrystalline thin films, ultrasmooth surface, super-fine surface patterns, nano-crystattine structural and funotiond coatings, etc.
Key words:  Nano-Surface Engineering Nano-Materials,Nanocrystalline thin films,Ultrasmooth Surface,Super- fine pattern,Nanostructured Coating
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