引用本文:谢雁,赵程,彭红瑞,李世直.等离子体化学气相沉积反应中对温度因素的控制[J].中国表面工程,1996,(4):
.[J].China Surface Engineering,1996,(4):
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等离子体化学气相沉积反应中对温度因素的控制
谢雁,赵程,彭红瑞,李世直
作者单位
摘要:
采用了外加热式直流等离子体化学气相沉积及渗金属工艺并在放电工件上直接测温的方法，克服了高于轰击加热引起的温度不均匀等因素并且膜的结构及力学性能得以改善。
关键词:  等离子体,气相沉积,放电,外加热
DOI：
分类号:TG174
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