柱状弧源多弧离子镀膜机

Wang Fuzhen

引用本文:	.柱状弧源多弧离子镀膜机[J].中国表面工程,1996,(1):
	.Multi Arc Ion Plating System by Columner Arc Source[J].China Surface Engineering,1996,(1):

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柱状弧源多弧离子镀膜机

作者

单位

摘要:

文章介绍新型柱状阴极电弧源多弧离子镀膜机的结构特点和镀氮化钛涂层的效果。

关键词: 柱状电弧源,多弧离子镀,TiC涂层

DOI：

分类号:TG174

基金项目:

Multi Arc Ion Plating System by Columner Arc Source

Wang Fuzhen

Abstract:

The article introduce to multi arc ion plating sgstem by columner arc source and introduce to microstructure'properties and thicks of plated TiN films

Key words: Multi arc ion plating,columner arc source,TiN films