引用本文:李文治.离子束辅助沉积技术[J].中国表面工程,1991,(3):
.[J].China Surface Engineering,1991,(3):
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离子束辅助沉积技术
李文治
作者单位
摘要:
一、引言离子注入曾因在半导体产业中的巨大成功而名噪于世,但将此技术移植于一般材料(非半导体)的表面改性时却显得步履艰难。尽管早在10年前,人们已经宣称离子注入使某些材料的耐磨损性提高了3～5倍,也使抗腐性能大为改观。但将实验研究的成果真正推广应用并转化为生产力者尚属少见。诚然,离子注入技术有许多独特的优
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