引用本文:高玉周,严立,张世锋,刘莎,季世军.微等离子体氧化制备TiO2薄膜的结构特性[J].中国表面工程,2003,(6):35~37
.Structural Characteristics of TiO2 Ceramic Coating by Micro-plasma Oxidation[J].China Surface Engineering,2003,(6):35~37
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微等离子体氧化制备TiO2薄膜的结构特性
高玉周,严立,张世锋,刘莎,季世军
作者单位
摘要:
利用微等离子体氧化方法在纯Ti金属表面生长出一层厚度达20μm的陶瓷氧化膜，并用X射线衍射、扫描电镜初步研究了氧化膜的组织结构和表面形貌。在不同电解质溶液条件下，得到3种不同类型结构组成的氧化膜：单一TiO2的锐钛型结构、TiO2锐钛型 金红石型的混合相结构、单一TiO2金红石结构。TiO2单一的锐钛型结构的氧化膜薄膜比较粗糙，TiO2金红石结构的氧化膜表面比较平滑，而混合相结构陶瓷膜的表面层为疏松的锐钛型结构TiO2，亚表层为金红石结构的TiO2。
关键词:  锐钛型 金红石 微等离子体氧化 陶瓷膜层
DOI：
分类号:TG174.444
基金项目:
Structural Characteristics of TiO2 Ceramic Coating by Micro-plasma Oxidation
GAO Yu-zhou  YAN Li  Zhang Shi-feng  LIU Sha  JI Shi-jun
Abstract:
TiO2 ceramic coatings with thickness of 20mm were prepared on the surface of pure titanium by micro-plasma oxidation. Their micro-structures and surface morphology were investigated by X-ray diffraction and scanning electronic microscopy. Three kinds of TiO2 coating, pure anatase type TiO2 , mixed phases of rutile type TiO2 and anatase type TiO2 , pure rutile type TiO2 were obtained. The surface of pure anatase type TiO2 coating was rough, while the surface of pure rutile type TiO2 coating was smooth. The surface layer of mixed type TiO2 coating was anatase type TiO2 structure and the subsurface layer of it was rutile type TiO2 structure.
Key words:  anatase,rutile,micro-plasma oxidation, structure, ceramic coating
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