Fe—Cr—Al电热合金表面原位绝缘膜的生长动力学问题

引用本文:	胡平,蒙继龙.Fe—Cr—Al电热合金表面原位绝缘膜的生长动力学问题[J].中国表面工程,2001,(4):18~20
	.Investigation on Growth Kinetics and Morphology of In-Situ Insulating Film on Fe-Cr-Al Electrical Heating Alloy[J].China Surface Engineering,2001,(4):18~20

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Fe—Cr—Al电热合金表面原位绝缘膜的生长动力学问题
胡平,蒙继龙

作者

单位

摘要:

试验了利用气相反应法在Fe－Cr－Al电热合金表面原位生成绝缘膜的可能性。获得了主要由a－Al2O3相组成的绝缘膜层，膜的生长符合抛物线规律，抛物线速率常数随反应氛中氧分压的增高而增大，Al2O3绝缘膜的微观形貌也与氧分压的大小有关。另外对绝缘膜的击穿性能进行了测试。

关键词: 电热合金绝缘膜薄膜生长动力学氧化铝

DOI：

分类号:TM924.03

基金项目:广东省自然科学基金资助项目

Investigation on Growth Kinetics and Morphology of In-Situ Insulating Film on Fe-Cr-Al Electrical Heating Alloy

Abstract:

Key words: electrical heating alloy,insulating film,Al2O3