引用本文:王松雁,田修波,汤宝寅,陈轶斌,王小峰,魏强,曾照明.Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入[J].中国表面工程,1997,(2):
.[J].China Surface Engineering,1997,(2):
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Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入
王松雁,田修波,汤宝寅,陈轶斌,王小峰,魏强,曾照明
作者单位
摘要:
本文利用电感耦合的射频激励产生的氮等离子体对Ti6A14V进行等离子体浸没离子注入．处理结果发现，随射频功率及氮离子注入剂量增加，Ti6A4V表面显微硬度增加；注入能量及剂量对材料摩擦磨损性能有显著影响，而且注入能量不同，最佳注入剂量也相应变化；射频激励下等离子体浸没离子注入具有注入和氮化双重作用．
关键词:  射频激励的等离子体,等离子体浸没离子注入,Ti6A14V
DOI：
分类号:TG13
基金项目:
Abstract:
Key words:  
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